原位橢偏儀研究聚苯乙烯薄膜溶脹-收縮過(guò)程.pdf_第1頁(yè)
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1、分類號(hào)UDC:密級(jí)編號(hào)原位橢偏儀研究聚苯乙烯薄膜溶脹/收縮過(guò)程STUDYOFPOLYSTYRENEFILMSWELL/SHRINKPROCESSBYINSITUELLIPSoMETRY學(xué)位援予單位及代碼:量壹理王盍堂I!Q!豎2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼:五丑也望!QZQ塑!)研究萬(wàn)同:玉扭堂皇墅篚扭型申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:亟指導(dǎo)教師:直壹彥研宄生:奎建避論文起止時(shí)間:墊業(yè)』E蛩唑摘要橢偏測(cè)戢技術(shù)(SE)是一種研究表嘶、界if『『和薄膜分析的光學(xué)技術(shù)。

2、sE氈通過(guò)對(duì)偏振光在樣品袁斷反射自口后偏扳態(tài)的改變進(jìn)行分析柬獲取薄膜樣品的結(jié)構(gòu)信息,它的應(yīng)用不僅限于測(cè)量得到材料的厚度和特性,它還被丌發(fā)用于控制過(guò)程苦息收集、幾何因素、各同異性、缺陷和納米結(jié)構(gòu)的量子束縛效應(yīng)。本論文主要工作如下:(1)原位研究聚苯己烯薄膜溶脹做縮行為,實(shí)驗(yàn)利用自制的樣品池。將以硅片為堪底的聚苯乙烯薄膜在心氧呋哺氣氛下溶脹,然后在乙醇?xì)夥鷕收縮,利用單波長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)跟蹤薄膜結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)變化,描述薄膜湃HK/收縮行為?!?)多波長(zhǎng)實(shí)

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