ICU測試用運動臺系統(tǒng)的設(shè)計與研究.pdf

1、濕法光刻技術(shù)是通過在最后一級投影物鏡與硅片之間填充一層高純液體，從而獲得優(yōu)于傳統(tǒng)干式光刻技術(shù)的分辨率，使用該技術(shù)的濕法光刻機是目前最先進的IC生產(chǎn)裝備之一。濕法光刻機中，有一個用于控制高純液體的注入與回收、維持濕法光刻工作流場的穩(wěn)定的ICU結(jié)構(gòu)。為了對ICU的結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計，需要對ICU及流經(jīng)該ICU形成的濕法光刻工作流場進行相關(guān)的性能測試與觀測;為了得到更加可信的試驗數(shù)據(jù)，需要在接近濕法光刻機正常工作的工況下進行相關(guān)試驗。所以設(shè)計開

2、發(fā)一套ICU測試用運動臺系統(tǒng)具有非常重要的意義。
　　根據(jù)對濕法光刻機步進掃描工作臺的技術(shù)調(diào)研結(jié)果及實際的試驗需求，針對ICU測試用運動臺系統(tǒng)的設(shè)計研究，本課題完成的工作如下:
　　1、進行總體設(shè)計時，將ICU測試用運動臺系統(tǒng)分為機械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)，然后根據(jù)功能需要再將其機械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)分為二維運動平臺和ICU空間位姿調(diào)整機構(gòu)分別進行設(shè)計。
　　2、根據(jù)從底部觀測濕法光刻工作流場平面的方案，在對模擬濕法光刻機步進掃

3、描工作臺運動的二維運動平臺進行結(jié)構(gòu)設(shè)計時采用多層臺結(jié)構(gòu):其中粗動臺采用“口字”型驅(qū)動導(dǎo)向機構(gòu)布局、有鐵芯電磁式直線電機驅(qū)動、滾動直線軸承直線運動導(dǎo)向等技術(shù);微動臺是一個底部使用氣浮隔振的手動臺。
　　3、根據(jù)對ICU空間位姿調(diào)整的需求，設(shè)計了一種新型的基于3-PSR-V并聯(lián)機構(gòu)的ICU空間位姿調(diào)整機構(gòu)，在該機構(gòu)中，使用了一套激光位移測量系統(tǒng)對ICU空間位姿調(diào)整進行校正。
　　4、根據(jù)運動臺的運動控制需求，設(shè)計開發(fā)了一套運動臺