Sn、Cr摻雜In2O3薄膜的制備及光敏性質研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、天津理工大學碩士學位論文Sn、Cr摻雜In2O3薄膜的制備及光敏性質研究姓名：吳一晨申請學位級別：碩士專業(yè)：材料學指導教師：劉技文；安玉凱201201薄膜的載流子濃度、遷移率、電阻率影響較小。薄膜致密度越差、表面粗糙度越高，對紫外光的靈敏度越高，響應時間越長。襯底溫度同為600℃時，氧流量為O4sccm，Sn、Cr共摻的In203薄膜較單摻Sn對紫外光的靈敏度高出157％，而響應時間長出413s。關鍵詞：h1203Sn摻雜Sn、Cr共摻

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