酞菁銅的制備與氣敏特性研究.pdf

1、近年來(lái)，隨著大氣污染的日益嚴(yán)重，對(duì)有毒有害氣體的檢測(cè)成為時(shí)下研究的熱點(diǎn)。酞菁類(MPc)有機(jī)半導(dǎo)體氣敏傳感器由于具有能在常溫下工作，低成本，精度高等優(yōu)點(diǎn)，受到人們的關(guān)注。
　　 本論文主要是利用苯酐-尿素路線合成了酞菁銅，再根據(jù)其溶解性進(jìn)行提純。用真空鍍膜的方法蒸鍍敏感膜，隨后進(jìn)行熱退火。經(jīng)XRD分析表明提純后其晶型為α晶型，而退火后轉(zhuǎn)變?yōu)棣戮?。通過(guò)紅外光譜觀察了酞菁銅分子的化學(xué)鍵吸收峰的位置，并用SEM和AFM觀察了酞菁銅薄

2、膜的表面形貌，發(fā)現(xiàn)呈小顆粒的形狀。使用IntelliSuite6.3軟件對(duì)叉指電極的制作工藝進(jìn)行仿真，證明其可行性。制作出鍍有酞菁銅薄膜的叉指電極。同時(shí)利用ANSYS10.0軟件對(duì)電極間薄膜電阻的電場(chǎng)線及電流密度進(jìn)行了分析。氣敏測(cè)試的結(jié)果顯示，酞菁銅薄膜對(duì)二氧化氮的選擇性較高，響應(yīng)速度較快，為3s，但是恢復(fù)時(shí)間較長(zhǎng)，為35s，而且不能完全恢復(fù)。它對(duì)乙醇，甲醇，H2等響應(yīng)較小，對(duì)丙酮，異丙醇沒(méi)有響應(yīng)。同時(shí)證明了酞菁銅吸收氧化性氣體后電導(dǎo)變