基于單幅SEM圖像的三維重建技術(shù).pdf

1、為了解決定性的觀察手段帶給新型黑硅微納加工工藝開發(fā)的桎梏；為了給新型微納加工工藝提供有效的定量的驗證手段；為了給進(jìn)一步研究微納加工技術(shù)新理論，建立集成微納制造技術(shù)的理論分析方法提供研究準(zhǔn)確的素材；為了開發(fā)新的可視化的微納集成制造技術(shù)計算機(jī)輔助設(shè)計工具；為了給研究黑硅新型微納結(jié)構(gòu)的應(yīng)用提供必要的支持。本文提出了基于黑硅刻蝕機(jī)理的黑硅表面三維重建方法和基于掃描電子顯微鏡成像原理黑硅表面三維重建方法。
　　 本研究基于刻蝕機(jī)理的黑硅表

2、面三維重建方法首先是在仔細(xì)研究了黑硅表面刻蝕機(jī)理的基礎(chǔ)上完成了對黑硅刻蝕過程的建模。根據(jù)模型和適當(dāng)?shù)募僭O(shè)，利用單幅黑硅表面?zhèn)纫晥D的SEM圖像對黑硅表面的形貌進(jìn)行三維重建。本文分別使用Open Inventor對黑硅表面的重建結(jié)果進(jìn)行了顯示并分析了兩種顯示方式的優(yōu)缺點(diǎn)和適用范圍。針對刻蝕機(jī)理的黑硅表面三維重建方法存在的一些不足，提出了基于掃描電鏡成像原理的黑硅表面三維重建方法。利用這一方法研究人員第一次在三維重建結(jié)果中觀察到了黑硅底部平緩