DJP-9BC超精密雙面拋光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、隨著微電子技術(shù)和信息技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)各種光電子元件表面加工精度的要求也越來(lái)越高,如何利用超精密拋光技術(shù)高效地獲得光電子晶片超平滑無(wú)損傷表面已成為加工技術(shù)的一個(gè)熱點(diǎn)研究方向,目前我國(guó)超精密加工研究與應(yīng)用水平還落后于美、日、德等工業(yè)技術(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家,因此開發(fā)具有自主產(chǎn)權(quán)的超精密雙面拋光機(jī)具有重要意義。
　　 本文從雙面拋光加工機(jī)理出發(fā),分析拋光過(guò)程及其主要工藝因素,在研究國(guó)內(nèi)外雙面拋光加工設(shè)備并分析傳統(tǒng)雙面拋光機(jī)系統(tǒng)存在缺陷的基礎(chǔ)上,

2、根據(jù)超精密雙面拋光機(jī)工作要求,對(duì)雙面拋光機(jī)總體方案進(jìn)行設(shè)計(jì),提出主機(jī)總體方案和控制系統(tǒng)總體方案。重點(diǎn)進(jìn)行雙面拋光機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并對(duì)雙面拋光機(jī)主要零部件進(jìn)行設(shè)計(jì),如對(duì)主軸、長(zhǎng)軸、小軸、大軸等進(jìn)行了詳細(xì)的設(shè)計(jì)和校核,同時(shí)對(duì)機(jī)床主軸系統(tǒng)的精度進(jìn)行分析。
　　 最后在新研制的超精密雙面拋光機(jī)上,以石英玻璃為對(duì)象進(jìn)行雙面拋光加工實(shí)驗(yàn),完成不同加載壓力對(duì)雙面拋光加工穩(wěn)定性影響的實(shí)驗(yàn),檢測(cè)獲取表面粗糙度和平面度等數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)了工件表面的超