版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、聲表面波器件具有小型化、頻率高、帶寬大、可進(jìn)行實(shí)時(shí)信號(hào)處理等優(yōu)點(diǎn)。隨著微電子、通信及其它領(lǐng)域的迅速發(fā)展,人們對高頻高性能聲表面波器件的要求也越來越高。而若研究這種高頻聲表面波器件,對壓電材料的研究就是至關(guān)重要的。A1N具有優(yōu)異的物理、化學(xué)特性,適用于高頻聲表面波器件,因此,對A1N薄膜的制備及壓電特性的研究是很重要的。
本文采用射頻磁控濺射法制備了(100)擇優(yōu)取向生長的A1N薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)分析了薄膜結(jié)構(gòu)
2、特性,研究了工作壓強(qiáng)和濺射功率對制備的影響。利用壓電力顯微鏡(PFM)對A1N薄膜的形貌和壓電性能進(jìn)行了表征,分析了(100)擇優(yōu)取向生長的A1N薄膜的壓電性能。主要研究內(nèi)容如下:
(1)采用射頻磁控濺射法在Si(100)襯底(含Au導(dǎo)電層)上制備(100)取向的A1N薄膜;
(2)研究了工作壓強(qiáng)對制備的A1N薄膜性能的影響。結(jié)果表明,一般情況下,增加工作氣壓能夠提供給(100)擇優(yōu)取向的A1N薄膜更好的生長
3、氣氛;
(3)研究了濺射功率對制備的A1N薄膜性能的影響。結(jié)果表明,一般情況下,減小濺射功率能夠提供給(100)擇優(yōu)取向的A1N薄膜更好的生長氣氛;
(4)通過PFM測試,發(fā)現(xiàn)(100)擇優(yōu)取向的A1N薄膜的壓電性主要表現(xiàn)在薄膜面內(nèi)方向上。對于A1N來說,c軸方向?yàn)闃O軸方向,沿此方向施加機(jī)械力,會(huì)在(002)面上產(chǎn)生最強(qiáng)的電荷;而沿垂直于極軸的a軸方向施加機(jī)械力,在(100)面上不產(chǎn)生電荷,仍在(002)面上
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 高頻SAW器件高性能壓電薄膜的制備及性能研究.pdf
- 適用于多層膜高頻SAW器件的AlN薄膜制備與表征.pdf
- 基于AlN-c-BN的高頻SAW器件的制備及研究.pdf
- 適用于高頻SAW器件高品質(zhì)AIN薄膜研究與表征.pdf
- 適用于高頻SAW器件的h-BN-diamond多層膜結(jié)構(gòu)薄膜的制備與研究.pdf
- 基于SAW器件“ZnO-(100)AlN-Diamond”多層膜的制備研究.pdf
- 基于BN-ZnO高聲速壓電材料的高頻SAW器件的構(gòu)建及性能研究.pdf
- A1N薄膜的氣相沉積及取向控制研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備不同擇優(yōu)取向的A1N薄膜的研究.pdf
- 反應(yīng)磁控油射低溫沉積A1N薄膜工藝、結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf
- SAW器件基片的無損檢測及應(yīng)用的研究.pdf
- 適用高頻SAW射頻標(biāo)簽的諧振器與天線設(shè)計(jì).pdf
- 適合SAW器件的BN-diamond多層膜的制備與研究.pdf
- 有機(jī)LED器件的制備及性能研究.pdf
- 納米Al2O3(A1N)-LDPE復(fù)合材料介電性能研究.pdf
- A1N薄膜聲表面波材料特性及其集成工藝的研究.pdf
- n-ZnO-p-GaN異質(zhì)結(jié)發(fā)光器件的制備及其光電性能研究.pdf
- 應(yīng)用于SAW器件的多層膜的生長及特性研究.pdf
- ZnO基薄膜和器件的制備及性能研究.pdf
- 聚合物發(fā)光器件的制備及性能研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論