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1、近年來,隨著激光技術(shù)、電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,發(fā)明了一種實(shí)時(shí)提取干涉圖信息、直接測量波面位相分布的波面位相探測新技術(shù),使光學(xué)非球面元件的面形測試精度大大提高,并且實(shí)現(xiàn)了波面的實(shí)時(shí)顯示.該文研制了一套測量非球面面形的相移剪切干涉裝置,面形檢測精度:0.1μm.文中討論了測量裝置的整體方案,運(yùn)用相移剪切干涉測試技術(shù),對相移橫向剪切干涉圖進(jìn)行了實(shí)時(shí)采集及處理,得到被測波面的一維波差分布圖.用UML面向?qū)ο蠼ＵZ言為非球面測試軟件建立了數(shù)學(xué)
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