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文檔簡介
1、Ge薄膜由于具有優(yōu)異的電學(xué),光學(xué)性能,被成功的應(yīng)用于非易失性存儲器和光電器件方面.近年來,稀磁半導(dǎo)體由于在自旋電子器件中的應(yīng)用吸引越來越多的注意.過渡金屬摻雜Ge薄膜同Si半導(dǎo)體具有兼容性,是一種很有潛能的半導(dǎo)體材料.因此研究過渡金屬摻雜Ge薄膜對于分析稀磁半導(dǎo)體磁性的真正機(jī)理,產(chǎn)生新的結(jié)構(gòu)特性,以及尋求更高的居里溫度具有重要的意義.
首先,利用直流磁控濺射方法,在Si(100)基底上沉積了Ge薄膜,通過改變實驗參數(shù),得到最佳
2、的沉積Ge薄膜條件:濺射功率為80W,濺射時間2h,基底溫度500℃,濺射壓強(qiáng)1.6Pa.通過X射線衍射(XRD)分析可知,Ge(220)方向為薄膜生長擇優(yōu)取向;拉曼光譜(Raman)同XRD結(jié)果相符合;分析掃描電子顯微鏡(SEM)圖像顯示薄膜表面結(jié)構(gòu)致密,生長均勻,且晶粒呈圓形;通過近紅外光譜分析可知,Ge薄膜的反射率隨著壓強(qiáng)的增大先增大后減小.
其次,利用直流磁控濺射法通過改變實驗參數(shù)在Si(100)基底上沉積了不同濃度的
3、Mn摻雜Ge薄膜(MnxGe1-x薄膜,x=0.02,0.05,0.1,0.3).XRD光譜顯示MnxGe1-x薄膜與Ge晶體相比有相同的結(jié)晶取向,沒有出現(xiàn)Mn,Mn-Ge化合物的衍射峰,表明Mn原子已經(jīng)進(jìn)入到Ge晶格中;濃度為2%,5%的Mn摻雜Ge薄膜與Ge薄膜相比有相同的(220)擇優(yōu)取向,而濃度為10%,30%的Mn摻雜Ge薄膜則由(220)擇優(yōu)取向轉(zhuǎn)變?yōu)椋?11)擇優(yōu)取向.VSM分析顯示薄膜具有室溫鐵磁性,隨著Mn濃度的增加,
4、薄膜的飽和磁化強(qiáng)度先增加后下降;當(dāng)Mn濃度增加到10%飽和磁化強(qiáng)度達(dá)到最大為0.54emu/cm3,但是當(dāng)Mn濃度進(jìn)一步增加到30%時,薄膜的飽和磁化強(qiáng)度反而降低.
最后,利用直流磁控共濺射法通過改變Co靶的濺射功率在Si(100)襯底上沉積了Co摻雜MnxGe1-x薄膜.XRD分析顯示Co靶濺射功率為20W[Co(20W)]時摻雜的MnxGe1-x薄膜僅僅顯示Ge立方晶體結(jié)構(gòu),Co靶濺射功率為80W[Co(80 W)]摻雜的
5、MnxGe1-x薄膜衍射峰的峰值較弱.Raman光譜顯示Co(20 W)摻雜的MnxGe1-x薄膜同測得的XRD相一致并顯示較強(qiáng)的拉曼信號.Co(80W)摻雜的MnxGe1-x(x=0.1,0.3)薄膜出現(xiàn)較寬的拉曼峰.這同XRD結(jié)果較低的結(jié)晶度相一致.能量分散X射線分析儀(EDX)結(jié)果顯示Co(20W),Co(80W)摻雜的MnxGe1-x薄膜中金屬Co含量分別為3.34%,51.2%.SEM圖像顯示薄膜均勻致密,Co(80W)摻雜的
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