微納操作系統(tǒng)及其關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、微系統(tǒng)(MEMS)或微機(jī)電系統(tǒng)正以她神奇而強(qiáng)大的功能展示在世人面前.DNA測(cè)序、分子操作、兆億容量的存貯器等等以納米技術(shù)為特征的科技已臨近我們了.微系統(tǒng)也好,納米科技也好,其背后不可或缺的工具就是微納操作系統(tǒng).本文就微納操作系統(tǒng)做了廣泛而深入的研究.微納操作系統(tǒng)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,它在微型零件的操作和裝配、MEMS系統(tǒng)的組裝、生物工程、醫(yī)學(xué)、光纖對(duì)接、納米科技等方面都有應(yīng)用.當(dāng)前人們已經(jīng)開發(fā)了各種各樣的微納操作系統(tǒng).從顯微視覺手段來看,

2、將它們可分類為:基于掃描電子顯微鏡(SEM)的微納操作系統(tǒng)、基于光學(xué)顯微鏡的微納操作系統(tǒng)、基于掃描探針顯微鏡(SPM)的微納操作系統(tǒng)以及其他微納操作系統(tǒng)等.微納操作系統(tǒng)一般由顯微視覺、驅(qū)動(dòng)、傳感、控制等幾部分組成.本文就這幾方面做了深入的探討,指出了存在的問題和解決的方法.分析了微納操作系統(tǒng)的重要組成部分——微納操作器.給出微納操作器的運(yùn)動(dòng)學(xué)正、逆解公式和雅可比矩陣,分析了微納操作器的定姿態(tài)和不定姿態(tài)工作空間.就微納定位/進(jìn)給技術(shù)的研究

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