冷陰極等離子體調(diào)制開(kāi)關(guān)磁場(chǎng)設(shè)置與柵極控制的基礎(chǔ)分析.pdf

1、冷陰極等離子體交叉場(chǎng)調(diào)制開(kāi)關(guān)（PlasmadischargeCROSSATRONmodulatorswitch，簡(jiǎn)稱PCMS管）是一種新型冷陰極等離子體脈沖功率放電器件，其工作是基于氣體放電的相關(guān)理論，并結(jié)合交叉電磁場(chǎng)對(duì)于氣體放電的影響，實(shí)現(xiàn)對(duì)脈沖大電流的通斷控制。作為一種高精度，小型化的開(kāi)關(guān)器件，對(duì)于器件的各個(gè)部件的制作加工有極高的要求，制作周期長(zhǎng)，費(fèi)用高，完全通過(guò)實(shí)驗(yàn)的方法研究并不現(xiàn)實(shí)。而采用數(shù)值模擬的方法對(duì)器件的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行仿真模

2、擬將使研究的過(guò)程得到優(yōu)化。
　　 本文根據(jù)氣體放電相關(guān)原理建立了管內(nèi)氣體的雙流體漂移擴(kuò)散二維模型，并使用基于有限元法的多物理場(chǎng)仿真模擬軟件ComsolMultiphysics4.0對(duì)器件模型進(jìn)行了模擬，模擬內(nèi)容包括:
　　 1.柵極對(duì)器件內(nèi)部的放電狀態(tài)起到控制作用，特別是預(yù)電離階段源柵極與陰極間的放電過(guò)程對(duì)器件的正常工作有著決定性的作用。在二維平面兩電極間的直流放電模型基礎(chǔ)上進(jìn)行了放電過(guò)程模擬;然后進(jìn)行了極間距對(duì)器件工作