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1、論文首先對微機械諧振器的研究現(xiàn)狀進行了綜述,總結(jié)了微機械諧振器在加速度傳感器、微光機械諧振器的研究現(xiàn)狀進行了綜述,總結(jié)了微機械諧振器在加速度傳感器、微光機電系統(tǒng)、無線通訊和微機械陀螺等領(lǐng)域的應(yīng)用的最新進展.其次,運用結(jié)構(gòu)振動理論分析了三種不同激勵方式的微諧振器:靜電激勵、電致熱激勵和光激勵微諧振器的工作機理,描述了其諧振特性,進行了工藝制作和詳細(xì)的頻率特性實驗測試,對三種微諧振器的性能有了詳細(xì)的了解.然后在掌握諧振特性的基礎(chǔ)上開展了微諧
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