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文檔簡介
1、巨應(yīng)力阻抗(簡稱GSI)效應(yīng)是繼巨磁阻抗(GMI)效應(yīng)之后,在軟磁材料領(lǐng)域發(fā)現(xiàn)的又一個非常具有研究價值和實(shí)用價值的特殊物理現(xiàn)象。GSI效應(yīng)是指被高頻信號激勵的某種非晶態(tài)合金,當(dāng)其受到外應(yīng)力作用時,它的阻抗值會發(fā)生明顯變化的現(xiàn)象。利用軟磁合金的GSI效應(yīng)開發(fā)新型傳感器,具有靈敏度高、尺寸小、響應(yīng)快、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。加速度計是慣性測試系統(tǒng)的重要組成部分,利用GSI效應(yīng)研制新型加速度計具有重要的理論價值和工程實(shí)際意義。 本文研究了基于G
2、SI效應(yīng)的加速度計的若干技術(shù):巨應(yīng)力阻抗效應(yīng)的理論分析、GSI加速度計的工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計、GSI加速度計調(diào)理電路設(shè)計等三方面內(nèi)容。本文系統(tǒng)地闡述了GSI效應(yīng)的產(chǎn)生機(jī)理,介紹了非晶態(tài)合金材料的制備和處理方法,以及影響GSI效應(yīng)的因素,選擇了Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶粉/硅橡膠復(fù)合薄膜作為傳感器的敏感材料。在此基礎(chǔ)上,深入地研究了基于GSI效應(yīng)的加速度計的工作原理,設(shè)計適合該類型加速度計的結(jié)構(gòu),用ANSYS對結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)
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