等離子體滲氮系統(tǒng)流量控制研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高速開關電磁閥是等離子體滲氮流量控制系統(tǒng)最基本、最關鍵的元件。它的工作可靠性及壽命直接影響整個流量控制系統(tǒng)。本文在電磁閥的材料、加工精度、后處理工藝、裝配工藝與磁路設計方面都作了相應的優(yōu)化選擇。采用調節(jié)開關的脈寬調制（PWM）方法，控制電磁閥的開啟與關斷時間比例來控制氣體流量，同時對線圈采用了降幅雙壓驅動技術以改善精度，提高真空閥的開關特性，開關響應時間達到了7ms。本文設計的高速真空電磁閥工作在“開” “關”兩種狀態(tài)下，與計算機接口

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