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文檔簡介
1、為了解決以往溶膠-凝膠法制備的TiO<,2>薄膜膜層質(zhì)量不好的缺點,該論文對磁控濺射法在玻璃表面制備TiO<,2>薄膜作為生態(tài)自潔凈玻璃材料進行了一系列探索與應(yīng)用基礎(chǔ)研究,包括TiO<,2>薄膜的磁控濺射法制備工藝、表面微觀結(jié)構(gòu)的控制、表面微觀結(jié)構(gòu)對Ti O<,2>薄膜光催化性能、透光性影響等.用掃描電鏡（SEM）觀察了Ti O<,2>薄膜的表面形貌,用X射線衍射（XRD）研究了TiO<,2>薄膜的晶型和晶粒尺寸,用X射線光電子能譜（X
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