微小內(nèi)尺度測(cè)量系統(tǒng)精度分析及若干關(guān)鍵問題研究.pdf

1、隨著精密工程技術(shù)、尖端技術(shù)和空間技術(shù)的迅速發(fā)展，微小內(nèi)尺度零件被廣泛應(yīng)用在各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域中，對(duì)其加工及檢測(cè)精度也提出了越來越高的要求。盡管各國(guó)均在積極研究微小內(nèi)尺度精密測(cè)量技術(shù)，卻由于缺乏對(duì)其測(cè)量精度全面有效的評(píng)估，嚴(yán)重阻礙了測(cè)量技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展和完善。因此，本文對(duì)自行研制的微小內(nèi)尺度測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了精度分析及若干關(guān)鍵問題的研究，對(duì)影響測(cè)量結(jié)果的不確定性因素有了較為完整和清晰的認(rèn)識(shí)，從而為進(jìn)一步提高該測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度提供了一定的借鑒和指導(dǎo)

2、。
　　本文基于測(cè)量不確定度評(píng)估理論，從影響測(cè)量結(jié)果的不確定度來源入手，分析了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的作用機(jī)理，建立了其評(píng)估模型，并對(duì)其部分影響參數(shù)進(jìn)行了檢測(cè)，得到了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的具體數(shù)值。對(duì)標(biāo)稱直徑Ф0.3mm微孔端面以下0.5mm截面處的直徑進(jìn)行了瞄準(zhǔn)觸發(fā)重復(fù)測(cè)量，利用高精度的數(shù)據(jù)補(bǔ)償方法對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了處理，并給出了其合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度及擴(kuò)展不確定度的評(píng)估結(jié)果。主要內(nèi)容如下：
　　(1)在全面了解微小內(nèi)尺度測(cè)量系統(tǒng)組成

3、、測(cè)量原理及測(cè)量過程的基礎(chǔ)上，從測(cè)量設(shè)備、測(cè)量方法、測(cè)量環(huán)境及人員三個(gè)方面分析了影響微孔直徑測(cè)量結(jié)果的各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來源，對(duì)其作用機(jī)理進(jìn)行了數(shù)學(xué)建模，給出了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的評(píng)估方法。
　　(2)通過引用或?qū)嶒?yàn)檢測(cè)得到各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的具體數(shù)值。對(duì)于不能通過引用資料進(jìn)行評(píng)估的部分參數(shù)，在參考國(guó)家及地方標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的基礎(chǔ)上，自行設(shè)計(jì)光電檢測(cè)方法，并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和評(píng)定。
　　(3)針對(duì)微小內(nèi)尺度瞄準(zhǔn)觸發(fā)測(cè)量過程中精確