微小內(nèi)尺度測量系統(tǒng)精度分析及若干關(guān)鍵問題研究.pdf

1、隨著精密工程技術(shù)、尖端技術(shù)和空間技術(shù)的迅速發(fā)展，微小內(nèi)尺度零件被廣泛應(yīng)用在各個工業(yè)領(lǐng)域中，對其加工及檢測精度也提出了越來越高的要求。盡管各國均在積極研究微小內(nèi)尺度精密測量技術(shù)，卻由于缺乏對其測量精度全面有效的評估，嚴(yán)重阻礙了測量技術(shù)的進一步發(fā)展和完善。因此，本文對自行研制的微小內(nèi)尺度測量系統(tǒng)進行了精度分析及若干關(guān)鍵問題的研究，對影響測量結(jié)果的不確定性因素有了較為完整和清晰的認(rèn)識，從而為進一步提高該測量系統(tǒng)的測量精度提供了一定的借鑒和指導(dǎo)

2、。
　　本文基于測量不確定度評估理論，從影響測量結(jié)果的不確定度來源入手，分析了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的作用機理，建立了其評估模型，并對其部分影響參數(shù)進行了檢測，得到了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的具體數(shù)值。對標(biāo)稱直徑Ф0.3mm微孔端面以下0.5mm截面處的直徑進行了瞄準(zhǔn)觸發(fā)重復(fù)測量，利用高精度的數(shù)據(jù)補償方法對測量結(jié)果進行了處理，并給出了其合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度及擴展不確定度的評估結(jié)果。主要內(nèi)容如下：
　　(1)在全面了解微小內(nèi)尺度測量系統(tǒng)組成

3、、測量原理及測量過程的基礎(chǔ)上，從測量設(shè)備、測量方法、測量環(huán)境及人員三個方面分析了影響微孔直徑測量結(jié)果的各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來源，對其作用機理進行了數(shù)學(xué)建模，給出了各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的評估方法。
　　(2)通過引用或?qū)嶒灆z測得到各標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量的具體數(shù)值。對于不能通過引用資料進行評估的部分參數(shù)，在參考國家及地方標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的基礎(chǔ)上，自行設(shè)計光電檢測方法，并對檢測數(shù)據(jù)進行處理和評定。
　　(3)針對微小內(nèi)尺度瞄準(zhǔn)觸發(fā)測量過程中精確