潔凈室氣流組織模擬及優(yōu)化.pdf

1、在信息時(shí)代高速發(fā)展的今天，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)對(duì)潔凈室提出了更高的要求。優(yōu)化潔凈室氣流組織形式是提高潔凈室潔凈度的一種有效途徑。本文主要研究和探討了利用數(shù)值模擬計(jì)算(CFD)技術(shù)，對(duì)一個(gè)不同的過(guò)濾器滿布比和不同的回風(fēng)形式的垂直單向流潔凈室的氣流組織進(jìn)行模擬，并詳細(xì)敘述了基于模擬結(jié)果進(jìn)行計(jì)算分析實(shí)現(xiàn)氣流組織優(yōu)化的關(guān)鍵技術(shù)和實(shí)現(xiàn)方法。介紹了潔凈室技術(shù)與集成電路生產(chǎn)之間相輔相成的關(guān)系，對(duì)潔凈室和數(shù)值模擬技術(shù)的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢(shì)做了

2、綜述。接著從垂直單向流潔凈室的工作原理及其四種不同的送風(fēng)形式出發(fā)，討論了潔凈室氣流組織的各方面的影響因素。選擇CFD技術(shù)，采用高雷諾數(shù)的K-紊流的數(shù)學(xué)模型和有限體積法的數(shù)學(xué)離散方法，選用數(shù)值模擬軟件fluent6.0，對(duì)一個(gè)頂棚滿布高效過(guò)濾器、格柵地板回風(fēng)和兩側(cè)下回風(fēng)兩種送風(fēng)方式的潔凈室進(jìn)行氣流組織的模擬計(jì)算，得到了不同滿布比的速度場(chǎng)分布。通過(guò)對(duì)此潔凈室模型的數(shù)值模擬計(jì)算，得出的結(jié)論如下：當(dāng)滿布比在60﹪以上時(shí)，格柵回風(fēng)口的送風(fēng)形式的氣