電子廠房潔凈室氣流組織的理論及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、掌握潔凈室的環(huán)境特性和氣流形態(tài)可以通過對(duì)潔凈室進(jìn)行長時(shí)間測試以及實(shí)驗(yàn)得到正確資料。但實(shí)際上由于潔凈室體積非常龐大，需要耗費(fèi)很長時(shí)間和很大人力、物力、財(cái)力，還有實(shí)際生產(chǎn)線運(yùn)行時(shí)潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生污染、外部滲漏以及數(shù)值模擬計(jì)算容量等因素限制，使得想要獲得所有資料是很困難的。而對(duì)數(shù)值模擬中得到的結(jié)果，如果不能與實(shí)際現(xiàn)場相比便不值得信賴。本研究以初期運(yùn)行的LCD潔凈廠房為研究對(duì)象，通過現(xiàn)場實(shí)測和數(shù)值模擬提出對(duì)氣流變化產(chǎn)生影響的各種因素，并分析各改

2、進(jìn)措施對(duì)氣流均勻分布所能起到的作用。具體研究結(jié)果如下。
　　 1.對(duì)氣流變化造成影響的主要因素
　　 研究結(jié)果表明，大面積的全面垂直型潔凈室內(nèi)地板下部大量循環(huán)空氣通過通風(fēng)豎井入幾集中后流到頂部靜壓層，所以，通風(fēng)豎井入口距離和柵格地板開孔率會(huì)產(chǎn)生阻抗，導(dǎo)致氣流滯留和偏流現(xiàn)象。給氣流變化造成影響的主要因素有通風(fēng)豎井的位置和柵格地板的配置，及柵格地板開孔率和下部靜壓箱的動(dòng)力設(shè)備等，還有隔斷的設(shè)置位置和室內(nèi)長度、地板下部的深度等

3、也會(huì)給氣流帶來影響。
　　 2.現(xiàn)場實(shí)測和模擬實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析
　　 以對(duì)氣流變化造成影響的因素為變量，利用數(shù)值模擬模擬結(jié)果與現(xiàn)場實(shí)測的結(jié)果比較，得出偏流角度減少程度大致相同。認(rèn)為潔凈室的設(shè)計(jì)階段用數(shù)值模擬決定潔凈室的規(guī)模和性能是經(jīng)濟(jì)而且可靠的。
　　 1）開孔率調(diào)整和通風(fēng)豎井追加設(shè)置后，現(xiàn)場實(shí)測結(jié)果表明氣流偏角由最初的60.3°減小到17.5°，有42.8°的改善效果。模擬實(shí)驗(yàn)氣流由最初的58°偏向角度減小到到17

4、°，有41°的改善效果。
　　 2）通風(fēng)豎井設(shè)置、隔斷調(diào)整后，現(xiàn)場實(shí)測和數(shù)值模擬中最終氣流偏流角度各是17.5°和17°。與目標(biāo)值14°接近。
　　 3.關(guān)于氣流變動(dòng)預(yù)測的基礎(chǔ)資料
　　 1）潔凈室內(nèi)的氣流形態(tài)都是向通風(fēng)豎井方向偏流，部分氣流沒有直接偏向通風(fēng)豎井的原因是由于柵格地板發(fā)生的壓差所致。通風(fēng)豎井區(qū)間長，偏流角度大的情況下需要采取通風(fēng)豎井的追加設(shè)置等具體的解決方案。
　　 2）潔凈室下部靜壓層的動(dòng)