2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、本文建立TCVI工藝沉積過程溫度控制系統(tǒng),工藝沉積過程溫度控制采用變壓器檔位粗調(diào)和晶閘管整流細調(diào)相結(jié)合的方法來實現(xiàn);針對變壓器檔位控制問題,利用模糊控制原理,在總結(jié)手動控制經(jīng)驗的基礎(chǔ)上,采用Matlab軟件模糊邏輯工具箱中的Sugeno模糊模型建立了變壓器檔位模糊控制系統(tǒng).針對沉積過程溫度參數(shù)整定方法存在的問題,對溫度自適應(yīng)PID控制算法進行了探討.采用二階純滯后環(huán)節(jié)近似TCVI工藝的沉積溫度控制模型,應(yīng)用最小二乘算法可對此溫度控制模型

2、進行參數(shù)辨識.根據(jù)零極點配置方法中的零極點對消原則推出一套自整定PID算法,可在線整定出控制系統(tǒng)的PID參數(shù),利用此參數(shù)還可建立TCVI工藝沉積過程溫度的直接數(shù)字控制(DDC)系統(tǒng).利用混合編程技術(shù),開發(fā)了基于組態(tài)軟件Kingview6.5和VisualBasic6.0的TCVI工藝沉積過程溫度控制系統(tǒng)軟件.該軟件采用模塊化和層次化設(shè)計方法,設(shè)計和實現(xiàn)了數(shù)據(jù)采集、FP93可編程PID調(diào)節(jié)器控制、遠程管理等模塊.該軟件系統(tǒng)人機交互性好、操

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