微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置的研制及微構(gòu)件力學(xué)特性評(píng)價(jià).pdf

1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）研究的深入，最近20年，MEMS在新產(chǎn)品、新制造工藝、新材料方面涌現(xiàn)了眾多研究成果。但是，隨著MEMS尺度的不斷變小，有些宏觀的特性和理論不再適合MEMS的研究，目前已有的材料的宏觀力學(xué)性能參數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了MEMS的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求。眾多研究表明，材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能能影響其宏觀力學(xué)性能。針對(duì)上述存在的問題，本文設(shè)計(jì)了一套能同時(shí)獲得材料的力學(xué)性能和對(duì)應(yīng)的微觀形貌的微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置，并利用此微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置對(duì)單晶銅絲試樣

2、進(jìn)行了拉伸實(shí)驗(yàn)研究。具體研究內(nèi)容如下：
　　首先，本文綜合現(xiàn)有的微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置的研究現(xiàn)狀，根據(jù)裝置的具體性能指標(biāo)要求，設(shè)計(jì)搭建了一套微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置，該裝置包括微位移機(jī)構(gòu)、試樣夾持機(jī)構(gòu)、成像系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)。
　　其次，對(duì)所設(shè)計(jì)的微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行有限元分析。利用有限元法對(duì)關(guān)鍵部件進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。對(duì)微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行模態(tài)分析，得到微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置的前5階自振頻率，有限元的仿真結(jié)果表明：此微拉伸實(shí)驗(yàn)裝置具有很好的動(dòng)態(tài)特性，可以實(shí)現(xiàn)高