毫米波單片數(shù)控移相器的研制.pdf_第1頁
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1、隨著半導體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,8毫米波各種單片已被廣泛應(yīng)用于發(fā)射物搜索,衛(wèi)星通訊中。本課題基于55所的O.15um柵長的GaAs PHEMT工藝,研究并制作了毫米波單片數(shù)控移相器芯片。在32-37GHz的頻帶內(nèi)可達到移相精度≤3°,插入損耗≤9dB,幅度均衡≤±0.6dB,輸入輸出電壓駐波比≤2,與國外同類產(chǎn)品的性能相當。同時通過該芯片的研制,進一步完善了毫米波PHEMT開關(guān)模型,使電路設(shè)計的一次性成功率大大提高。在工藝制作方面,采用國際上

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