基于頻閃測量方式的平面微運動測試系統(tǒng).pdf

1、本文首先介紹了MEMS發(fā)展概況以及相關微器件運動特性測試技術。針對微結(jié)構周期運動測試的要求，設計了一種基于頻閃測量方式的平面微運動測試系統(tǒng)。
　　 論文首先對頻閃成像技術及其在微結(jié)構周期運動測試中的應用進行了分析，確定了頻閃照明、運動激勵信號的控制時序、頻率、幅度等技術指標，提出了基于頻閃測量方式的平面微運動測試系統(tǒng)的總體設計方案。
　　 根據(jù)設計方案完成了基于頻閃測量方式的平面微運動測試系統(tǒng)的硬件電路設計，使用直接數(shù)字

2、合成技術生成高精度高頻脈沖信號，并對頻閃控制信號精確移相，滿足了物體不同運動相位的照明和成像的要求，選擇FPGA作為AD9912芯片的控制器，降低了系統(tǒng)延時誤差，保證AD9912的高速響應控制。設計了低通橢圓濾波器，提高了信號的頻譜純度。設計了板上控制模塊和PC機軟件控制模塊，能夠方便地通過任一模塊實現(xiàn)參數(shù)設置，該系統(tǒng)通過USB接口與PC機進行通訊，通過PC機或板上控制系統(tǒng)設置工作參數(shù)，生成1路頻閃照明脈沖控制信號。采用模塊化設計思想完