Ba-,1-x-Sr-,x-TiO-,3-鐵電薄膜的制備及其性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、　　本文采用溶膠—凝膠法，對(duì)制備適合應(yīng)用于非制冷紅外焦平面陣列的BST薄膜材料進(jìn)行了研究。首先，對(duì)配制穩(wěn)定溶膠的工藝條件進(jìn)行了研究，通過前期實(shí)驗(yàn)，最終確定了以乙酸鋇、乙酸鍶、鈦酸丁酯為反應(yīng)物，乙酸和乙二醇甲醚為溶劑，乙酰丙酮為螯合劑，控制反應(yīng)溫度在50～70℃，加水量不超過5﹪，所制備的溶膠穩(wěn)定性較好。采用旋涂法涂膜，選擇合適的涂膜條件制備了均勻性良好的濕膜，對(duì)濕膜的熱處理工藝進(jìn)行研究。采用XRD、AFM、XPS對(duì)薄膜進(jìn)行分析；研究了分

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