hfxzr(1x)o2鐵電薄膜的制備與電性能研究_第1頁(yè)
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1、 電 子 科 技 大 學(xué) UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA 碩士學(xué)位論文 MASTER THESIS 論文題目 Hf HfxZr Zr(1 (1-x) x)O2鐵電薄膜的制備與電性能研究 鐵電薄膜的制備與電性能研究 學(xué) 科 專(zhuān) 業(yè) 材料科學(xué)與工程 材料科學(xué)與工程 學(xué) 號(hào) 201221030412 作 者 姓

2、 名 吳詩(shī)捷 吳詩(shī)捷 指 導(dǎo) 教 師 朱 俊 教 授 RESEARCH ON ELECTRIC PROPERTIES OF HfxZr(1-x)O2 FERROELECTRIC THIN FILMS A Master Dissertation Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major:

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