hf0.5zr0.5o2鐵電薄膜的制備和性能研究_第1頁
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文檔簡介

1、 電 子 科 技 大 學(xué) UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA 專業(yè)學(xué)位碩士學(xué)位論文 MASTER THESIS FOR PROFESSIONAL DEGREE （電子科技大學(xué)圖標(biāo)） 論文題目 Hf Hf0.5 0.5Zr Zr0.5 0.5O2鐵電薄膜的制備和性能研究 鐵電薄膜的制備和性能研究 專 業(yè) 學(xué) 位 類 別 工程碩士 工程碩士

2、 學(xué) 號 201122034015 作 者 姓 名 李 晨 雨 李 晨 雨 指 導(dǎo) 教 師 朱 俊 教授 教授 電子科技大學(xué) 碩士學(xué)位論文 - 3 - PREPARATION AND PERFORMANCE OF Hf0.5Zr0.5O2 FERROELECTRIC THIN FILMS A Master Thesis Submitted to Univ

3、ersity of Electronic Science and Technology of China Major: Materials Science and Engineering Author: Li Chenyu Advisor: Professor Zhu Jun School : School of Materials Science and

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