激光調(diào)阻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)掃描畸變及安裝誤差研究.pdf

1、激光調(diào)阻機(jī)是激光刻蝕技術(shù)在電子加工工業(yè)中的一種應(yīng)用，是集光學(xué)、精密機(jī)械、計(jì)算機(jī)控制和精密測量技術(shù)于一體的高技術(shù)的加工設(shè)備，主要用于厚薄膜電阻的微調(diào)加工。 本文介紹了透鏡前雙振鏡二維掃描方式的激光調(diào)阻系統(tǒng)，闡述了激光微調(diào)的工作原理及特點(diǎn)；建立了激光調(diào)阻機(jī)雙振鏡二維掃描系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型，推導(dǎo)出掃描場內(nèi)任意點(diǎn)的坐標(biāo)與振鏡偏轉(zhuǎn)角之間的函數(shù)關(guān)系式，并分析了用簡化關(guān)系式代替推導(dǎo)所得的函數(shù)關(guān)系式控制振鏡掃描時所產(chǎn)生的畸變，最后提出了用理論關(guān)系式

2、的等效關(guān)系式來控制振鏡掃描，用等效關(guān)系式控制振鏡掃描時不僅可以得到高精度，達(dá)到了微米量級，而且用等效關(guān)系式對振鏡進(jìn)行控制時，還能夠?qū)崿F(xiàn)激光調(diào)阻機(jī)的高速度要求，從而達(dá)到校正的目的。 此外，本文通過建立數(shù)學(xué)模型分析了激光調(diào)阻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的裝配誤差，主要包括入射光線與光學(xué)系統(tǒng)光軸傾斜和第二振鏡與fθ透鏡非正交，并提出了利用兩振鏡繞轉(zhuǎn)軸偏轉(zhuǎn)一定的角度補(bǔ)償上述安裝誤差的補(bǔ)償方法，這對與激光調(diào)阻機(jī)今后的性能提高工作具有非常高的應(yīng)用價值。