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1、計(jì)算機(jī)輔助制造(CAM)是指通過(guò)直接或者間接把計(jì)算機(jī)與企業(yè)的物力和人力資源聯(lián)系起來(lái),在生產(chǎn)的計(jì)劃、管理、控制和操作等方面有效地應(yīng)用計(jì)算機(jī)技術(shù).計(jì)算機(jī)輔助制造應(yīng)用在集成電路生產(chǎn)制造上就稱之為IC-CAM.如果說(shuō)目前中國(guó)集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)同世界先進(jìn)國(guó)家相比存在著多年差距,那么,在制造方面的計(jì)算機(jī)輔助也同樣存在很大的差距.為了實(shí)現(xiàn)IC生產(chǎn)的計(jì)算機(jī)管理,使半導(dǎo)體制造企業(yè)提高產(chǎn)品合格率、降低生產(chǎn)成本,通過(guò)ISO-9000質(zhì)量體系認(rèn)證體系
2、,中國(guó)的半導(dǎo)體制造業(yè)很有必要應(yīng)用集成電路計(jì)算機(jī)輔助制造(IC-CAM)技術(shù).中科院微電子中心在香港半導(dǎo)體制造公司和清華大學(xué)微電子所集成電路生產(chǎn)線上使用的IC-CAM基礎(chǔ)上,結(jié)合自己半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線的實(shí)際情況,與清華大學(xué)微電子所合作開(kāi)發(fā)了一套新型IC-CAM系統(tǒng),對(duì)原系統(tǒng)進(jìn)行了全面的改進(jìn)與完善.改進(jìn)后的系統(tǒng)基于C/S和B/S混合結(jié)構(gòu)體系,既實(shí)現(xiàn)了網(wǎng)上信息瀏覽,又做到了整個(gè)生產(chǎn)線上數(shù)據(jù)共享.操作系統(tǒng)分別應(yīng)用SCO Unix和Linux,數(shù)據(jù)
3、庫(kù)采用了ISO標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證的Oracle數(shù)據(jù)庫(kù),確保了系統(tǒng)數(shù)據(jù)安全.同時(shí)該系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了Oracle、Sqlserver、Foxpro、Access、Excel等多種異構(gòu)數(shù)據(jù)庫(kù)的數(shù)據(jù)交換.系統(tǒng)函蓋了操作、工藝員、調(diào)度、質(zhì)檢、設(shè)備、庫(kù)房、報(bào)表、外延等8個(gè)子系統(tǒng).客戶端采用了Powerbuilder作為界面設(shè)計(jì)工具,開(kāi)發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的Windows界面,可獨(dú)立運(yùn)行于win98,win2000,winxp等不同操作系統(tǒng).基于B/S和C/S混合體系結(jié)構(gòu)的I
4、C-CAM系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)涉及到Unix、Oracle、Powerbuilder和集成電路制造工藝等多項(xiàng)技術(shù).論文主要論述了局域網(wǎng)內(nèi)的系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā),首先講述了作為系統(tǒng)支持技術(shù)的數(shù)據(jù)庫(kù)技術(shù).接著介紹了系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)特點(diǎn):C/S和B/S結(jié)構(gòu),分析了兩種結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)和采用二者并存的必要性.隨后詳細(xì)介紹了系統(tǒng)各部分的特點(diǎn)和功能以及設(shè)計(jì)的思路和技術(shù).最后在結(jié)論中討論了現(xiàn)有IC-CAM系統(tǒng)的特點(diǎn)和改進(jìn)思路.系統(tǒng)經(jīng)過(guò)一年的改進(jìn)和完善,于2003年底投入了試運(yùn)
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