光纖點(diǎn)衍射干涉儀數(shù)據(jù)處理與系統(tǒng)標(biāo)定.pdf_第1頁(yè)
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1、點(diǎn)衍射干涉儀這一物理思想，早在1972年Smartt和Strong就已發(fā)明，由Smartt和Steel做了進(jìn)一步發(fā)展，并成功的用于檢測(cè)天文望遠(yuǎn)鏡，它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，對(duì)光源沒(méi)有特殊要求，近年來(lái)，由于光纖制造工藝以及耦合技術(shù)的發(fā)展，單模光纖纖芯不斷縮小，為光纖點(diǎn)衍射干涉儀得以發(fā)展提供了前提條件，該干涉儀由激光照明，除了檢測(cè)會(huì)聚波前外，還可以用來(lái)檢測(cè)反射凹球面，進(jìn)而應(yīng)用到單個(gè)面形的檢測(cè)；另外，光纖點(diǎn)衍射干涉儀最大的優(yōu)點(diǎn)是不需要標(biāo)準(zhǔn)鏡，在干涉檢測(cè)中，

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