鍍膜小孔點衍射干涉儀的設(shè)計與調(diào)試.pdf

1、球面面形的高精度檢測一直是光學(xué)測量領(lǐng)域的難題,目前我國尚未建立國家和國防最高計量標(biāo)準(zhǔn)。傳統(tǒng)的干涉儀精度受限于標(biāo)準(zhǔn)球面鏡頭的精度,遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足目前光刻鏡頭至少λ/1000的精度要求,而點衍射干涉儀利用小孔衍射產(chǎn)生出來的理想球面波作為參考波,可以實現(xiàn)對面形的絕對測量。
　　 為此,本文對不同類型點衍射干涉儀的優(yōu)缺點進行了分析和總結(jié),選取鍍膜小孔點衍射干涉儀作為研究方向,并以其實驗裝置的搭建為核心展開研究。然后,分析了鍍膜小孔點衍射干

2、涉儀可能存在的誤差和提出了相應(yīng)的解決方案,通過白光輪廓儀測試了小孔衍射板的小孔直徑、鍍膜厚度等主要參數(shù)。提出了干涉儀實驗裝置的設(shè)計方案、對其中的關(guān)鍵組件進行了分析,最終完成了對干涉儀實驗裝置的搭建。在完成對對干涉儀的調(diào)試之后,對口徑80mm,焦距300mm的凹球面鏡進行了測量,得到了其干涉圖。
　　 在鍍膜小孔點衍射干涉儀實驗裝置的基礎(chǔ)上,結(jié)合夏克哈特曼波前傳感器和Zygo干涉儀對小孔衍射出來的球面波質(zhì)量進行了測試,得到了小孔衍