新型RF MEMS開關(guān)電路設(shè)計(jì)、建模及應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近年來，由于加工工藝的進(jìn)步，射頻微電子機(jī)械系統(tǒng)(RF MEMS)技術(shù)飛速發(fā)展，進(jìn)一步促進(jìn)了微波射頻電路朝著小型化、集成化等方向發(fā)展。開關(guān)作為微波集成電路的一種重要元件，其高隔離度、低插入損耗和小型化成為開關(guān)的發(fā)展趨勢。隨著RFMEMS開關(guān)的可靠性的提高，其市場會(huì)越來越廣闊。
　　 本論文設(shè)計(jì)了一種串聯(lián)歐姆MEMS開關(guān)，采用的是固支梁結(jié)構(gòu)，仿真結(jié)果表明，這種開關(guān)在0～50GHz帶寬內(nèi)的插入損耗小于1dB，隔離度大于20dB。通過A

2、NSYS的力電耦合模擬分析，其驅(qū)動(dòng)電壓為27.3V。為了降低驅(qū)動(dòng)電壓，可以增加開關(guān)支撐梁的長度，同時(shí)采用雙驅(qū)動(dòng)電壓板的設(shè)計(jì)，驅(qū)動(dòng)電壓降低到11.8V。論文設(shè)計(jì)了一種超寬帶并聯(lián)歐姆MEMS開關(guān)，其插入損耗在0～100GHz內(nèi)小于0.7dB，隔離度大于15dB。論文給出了以上兩種開關(guān)的等效電路，給出了等效電路中各分立元件的計(jì)算方法，等效電路計(jì)算結(jié)果與結(jié)構(gòu)仿真結(jié)果吻合良好。
　　 RF MEMS開關(guān)可以單獨(dú)使用，也可以組合成開關(guān)陣列使

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