精密二維運動平臺實時標定實驗與分析.pdf

1、隨著高精密位移傳感技術及高精密運動平臺的廣泛應用,人們對平臺運動位移標定提出了越來越高的要求。目前國內對運動平臺的標定方法大多是在平臺處于靜止狀態(tài)下完成的。但是，當對某些特定系統(tǒng)如氣浮運動平臺進行標定時，由于平臺靜止時存在振動，會對標定造成影響。本文提出一種運動狀態(tài)下進行標定的方法，能夠實現(xiàn)平臺位移系統(tǒng)與標定位移系統(tǒng)的實時同步采樣。該方法可以減少因靜止狀態(tài)下的振動問題所產生的標定誤差，實現(xiàn)對高精密運動平臺位移的標定。
　　基于藍光

2、激光干涉位移傳感器，氣浮導軌組成的高精密運動平臺，Agilent5529A雙頻激光干涉儀以及E1735A數(shù)據(jù)采集模塊，建立了一套完整的AQB標定系統(tǒng)。通過對平臺位移傳感器細分系統(tǒng)進行測試，得到了產生良好AQB信號的條件。通過對AQB信號調理電路的設計，包括跟隨、差分、放大、濾波、以及反相偏置等電路，獲得了良好的AQB信號，并將調試好的電路制成了AQB信號調理電路板，通過了AQB信號調理測試。在完成了標定系統(tǒng)的硬件搭建以后，為實現(xiàn)運動狀態(tài)

3、下的AQB標定，進行了實時標定軟件的開發(fā)，編譯生成了可執(zhí)行程序，并通過了實時采樣測試。
　　進行實時標定時，精密平臺首先在直線電機驅動下勻速運動。運動平臺的藍光激光位移傳感器產生AQB模擬信號，經調理電路板與細分器處理后輸出AQB數(shù)字信號給E1735A數(shù)據(jù)采集模塊。E1735A模塊Mudulo計數(shù)器對AQB數(shù)字信號進行計數(shù)，達到預設采樣間隔時輸出一個瞬態(tài)脈沖。該瞬態(tài)脈沖即時將來自標定系統(tǒng)的瞬態(tài)位移數(shù)據(jù)存入硬件緩存區(qū)，軟件系統(tǒng)隨后及