室內(nèi)污染氣體傳感器的制備及特性研究.pdf

1、本論文綜述了SnO2薄膜的制備工藝，摻雜和未摻雜SnO2薄膜的基本性質(zhì)及在各個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用，并從提高氣體傳感器的選擇性，降低氣體傳感器的工作溫度著手開展了一些研究。利用Sol-gel法制備了銦錫比不同的銦錫氧化物薄膜，對(duì)薄膜的電學(xué)性能及氣敏性能進(jìn)行了表征，并由此構(gòu)成了P-N組合型氣敏傳感器陣列。結(jié)果表明，由于不同銦錫比組成的氧化銦錫薄膜內(nèi)載流子濃度不同，而且導(dǎo)電類型也可能不同，因此氣敏傳感器陣列中每個(gè)傳感器對(duì)氣體的響應(yīng)也不同，使得氣敏傳

2、感器陣列具有很好的選擇性。通過對(duì)甲醛、苯、甲苯、二甲苯的測試，證明此陣列對(duì)四種室內(nèi)污染氣體具有較好的選擇性。另外本文還研究了二氧化錫薄膜氣敏傳感器在常見室內(nèi)污染氣體氣氛中的電阻-溫度變化關(guān)系。結(jié)果發(fā)現(xiàn)不同氣氛下電阻-溫度曲線的特性各不相同，由此可以獲得被測氣體的相關(guān)信息，提高傳感器的選擇性。本文還用分子軌道計(jì)算軟件(WinMOPAC2.0)對(duì)四種室內(nèi)污染氣體的分子軌道進(jìn)行了計(jì)算，并根據(jù)分子軌道能級(jí)的相對(duì)位置從理論上定性解釋了二氧化錫薄膜