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文檔簡介
1、本論文從氣體傳感器研究的三個主要方面——氣敏材料、器件結(jié)構(gòu)、敏感特性及機制出發(fā),設計了化學場效應管陣列NO<,2>氣體傳感器;利用自組裝技術(shù)制備了NO<,2>氣敏薄膜,并進行了微觀結(jié)構(gòu)表征和分析,同時在薄膜氣敏特性研究的基礎(chǔ)上對陣列器件的NO<,2>氣敏特性和敏感機理進行了研究.1.利用微電子半導體工藝與自組裝技術(shù)相結(jié)合,首次在氣敏薄膜制備和研究的基礎(chǔ)上根據(jù)氣敏傳感器的主要特性參數(shù)以及MOS管的基本特性參數(shù)設計并制造了利用聚苯乙烯磺酸摻
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