2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、制作微型化的氣體傳感器是MEMS應(yīng)用的主要領(lǐng)域之一.半導(dǎo)體氣敏傳感器,是當(dāng)前MEMS氣敏傳感器的主流.其中使用最多的氣敏材料是二氧化錫(SnO<,2>).已有的研究很重視氣敏特性的測(cè)量以及不同的工藝過(guò)程對(duì)薄膜微觀結(jié)構(gòu)特性的影響和氣敏特性的聯(lián)系,但在基礎(chǔ)研究工作方面卻進(jìn)展緩慢.MEMS中大量使用薄膜材料,厚度可達(dá)微米、亞微米地至納米量級(jí).在這個(gè)尺度上,材料的特性與宏觀情況下是不同的.而在這樣小的微器件中關(guān)于熱的問(wèn)題不可忽略.分子動(dòng)力學(xué)模擬

2、和量子力學(xué)從頭算方法是研究微觀世界的有效方法.Matiarial Studio<'TM>軟件是Accelrys公司開(kāi)發(fā)的專門用于分子模擬的軟件,該文在計(jì)算中采用該軟件作為模擬平臺(tái).論文以SnO<,2>氣敏薄膜(顆粒)作為研究對(duì)象,利用分子動(dòng)力學(xué)模擬方法計(jì)算微尺度下的SnO<,2>薄膜(顆粒)的熱容.首先計(jì)算了在幾百nm厚度的薄膜熱容,然后繼續(xù)縮小薄膜的尺寸,研究了nm級(jí)顆粒的熱容情況.計(jì)算結(jié)果表明,在微觀尺度下的熱容,數(shù)值不再是一常量,

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