已閱讀1頁，還剩54頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領
文檔簡介
1、制作微型化的氣體傳感器是MEMS應用的主要領域之一.半導體氣敏傳感器,是當前MEMS氣敏傳感器的主流.其中使用最多的氣敏材料是二氧化錫(SnO<,2>).已有的研究很重視氣敏特性的測量以及不同的工藝過程對薄膜微觀結構特性的影響和氣敏特性的聯(lián)系,但在基礎研究工作方面卻進展緩慢.MEMS中大量使用薄膜材料,厚度可達微米、亞微米地至納米量級.在這個尺度上,材料的特性與宏觀情況下是不同的.而在這樣小的微器件中關于熱的問題不可忽略.分子動力學模擬
2、和量子力學從頭算方法是研究微觀世界的有效方法.Matiarial Studio<'TM>軟件是Accelrys公司開發(fā)的專門用于分子模擬的軟件,該文在計算中采用該軟件作為模擬平臺.論文以SnO<,2>氣敏薄膜(顆粒)作為研究對象,利用分子動力學模擬方法計算微尺度下的SnO<,2>薄膜(顆粒)的熱容.首先計算了在幾百nm厚度的薄膜熱容,然后繼續(xù)縮小薄膜的尺寸,研究了nm級顆粒的熱容情況.計算結果表明,在微觀尺度下的熱容,數(shù)值不再是一常量,
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- SnO-,2-薄膜氣體傳感器制備及其性能研究.pdf
- SnO-,2-甲醛氣體傳感器性能改善.pdf
- 表面修飾SnO-,2-氣體傳感器工藝研究及性能分析.pdf
- 微氣體傳感器SnO-,2-敏感膜表面電子結構及氣體吸附的研究.pdf
- SnO-,2-氣敏傳感器的制備及性能研究.pdf
- 基于SnO-,2-一維納米結構氣體傳感器的制備及表征.pdf
- SnO-,2-氣體傳感器動態(tài)測試原理及其與SPME聯(lián)用技術研究.pdf
- 厚膜型納米SnO-,2-氣體傳感器的研究以及In-Mg摻雜改性.pdf
- 微型薄膜氣體傳感器研究.pdf
- NO-,2-氣體薄膜傳感器陣列制備及特性研究.pdf
- 高質量SnO-,2-薄膜的制備及特性研究.pdf
- 激光熔覆制備SnO-,2-微氣敏傳感器的研究.pdf
- 摻雜SnO-,2-薄膜的制備及研究.pdf
- 可微加工Al-,2-O-,3-基板式新型SnO-,2-氣體傳感器的研制.pdf
- MOCVD法制備摻雜SnO-,2-薄膜及特性研究.pdf
- 稀土鏑、釹、鑭摻雜納米SnO-,2-薄膜的特性.pdf
- 農藥殘留的光降解及SnO-,2-傳感器檢測技術研究.pdf
- 電熱SnO-,2-薄膜的制備及性能研究.pdf
- SnO-,2-材料光致發(fā)光的特性研究.pdf
- 包裝用薄膜氣體滲透的計算機模擬.pdf
評論
0/150
提交評論