激光熔覆制備SnO-,2-微氣敏傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著氣敏傳感器件向微型化、集成化和高性能化方向發(fā)展，對(duì)其制備技術(shù)提出了更高的要求。目前，微氣敏傳感器的制備主要利用光刻、濺射、摻雜等薄膜工藝來完成，工藝復(fù)雜、條件苛刻、成本昂貴，因而研發(fā)新的工藝制備微氣敏傳感器具有重大的現(xiàn)實(shí)意義。本文利用本實(shí)驗(yàn)室自主開發(fā)的激光微熔覆設(shè)備，提出基于激光微熔覆技術(shù)的制備SnO2微氣敏傳感器的MEMS新方法。 SnO2氣敏漿料采用乙醇分散-濃縮法制備，該漿料108小時(shí)后沉降高度僅為0.5cm，穩(wěn)定性良

2、好。在勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速6000r/min的旋涂速度、30s的旋涂時(shí)間、Nd:YAG半導(dǎo)體泵浦激光器1mm/s的激光掃描速度和離焦量為零的膜層預(yù)置和激光熔覆條件下，在96％的Al2O3基板上制得氣敏膜，從SEM照片來看，激光功率為6W制得的氣敏膜SnO2顆粒呈球狀，比表面積大，粒徑在1μm左右，且分布均勻。在96％的Al2O3基板另一面制備微加熱器。微加熱器的制備方法采用微筆直寫技術(shù)，加熱電源2.5V，電流1.4A，功率3.5W。熱響應(yīng)時(shí)間小于

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