版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,基于該項技術(shù)的金屬氧化物氣體傳感器已經(jīng)成為研究熱點。這類傳感器具有功耗低、易于集成等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于各種有毒有害氣體、可燃?xì)怏w、工業(yè)廢氣、環(huán)境污染氣體的檢測。SnO2是一種被廣泛使用的金屬氧化物氣敏材料,對很多氣體都有比較好的靈敏度,具有獨特的表面和界面特性,在不同溫度下其晶體表面存在不同程度的氧缺陷(Ovacancy),薄膜電導(dǎo)測試(sheetconductancemeasurement)顯示表面氧缺陷的存在
2、可以提高表面電導(dǎo)近兩個數(shù)量級,因此,從實驗和理論上研究SnO2晶體表面缺陷和吸附對表面電子結(jié)構(gòu)的影響,對進一步提高傳感器性能具有重要的意義。 本文主要從改良傳感器性能的角度出發(fā),研究了SnO2(110)面的電子結(jié)構(gòu)和氣體分子的吸附情況。首先利用MaterialsStudio軟件建立了SnO2(110)氧化表面、部分氧化表面、還原表面和缺陷表面的模型,運用第一性原理密度泛函理論,結(jié)合平面波贗勢和超胞的方法計算了這四種表面的幾何結(jié)構(gòu)
3、和電子結(jié)構(gòu),重點分析了表面橋氧空穴和面氧空穴對表面能帶結(jié)構(gòu)、態(tài)密度、原子布居和電荷密度的影響,最終總結(jié)出表面缺陷對薄膜電導(dǎo)和傳感器性能的影響。 此外本文利用MaterialsStudio軟件進一步研究了氧氣在SnO2(110)還原表面的吸附情況,將氧分子放在還原表面五配位錫原子和四配位錫原子上方,嘗試了垂直、水平等各個擺放方向?qū)ξ降挠绊?,最終找到了三種穩(wěn)定的吸附形式,進而分析了氧氣在SnO2(110)面的吸附對表面態(tài)密度、龜荷
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- SnO-,2-甲醛氣體傳感器性能改善.pdf
- 表面修飾SnO-,2-氣體傳感器工藝研究及性能分析.pdf
- SnO-,2-薄膜氣體傳感器制備及其性能研究.pdf
- 厚膜型納米SnO-,2-氣體傳感器的研究以及In-Mg摻雜改性.pdf
- 基于SnO-,2-一維納米結(jié)構(gòu)氣體傳感器的制備及表征.pdf
- 微型氣體傳感器中SnO-,2-薄膜特性的計算機模擬.pdf
- SnO-,2-氣體傳感器動態(tài)測試原理及其與SPME聯(lián)用技術(shù)研究.pdf
- 可微加工Al-,2-O-,3-基板式新型SnO-,2-氣體傳感器的研制.pdf
- SnO-,2-氣敏傳感器的制備及性能研究.pdf
- 激光熔覆制備SnO-,2-微氣敏傳感器的研究.pdf
- 雙層敏感膜OTFT氣體傳感器的制備及特性研究.pdf
- 基于ADT的SnO2氣體傳感器試驗研究.pdf
- 農(nóng)藥殘留的光降解及SnO-,2-傳感器檢測技術(shù)研究.pdf
- 基于LB膜的微納光纖氣體傳感器研究.pdf
- NO-,2-氣體薄膜傳感器陣列制備及特性研究.pdf
- 基于“微井”結(jié)構(gòu)的氣體傳感器的制備.pdf
- 聲表面波氣體傳感器的研究.pdf
- SnO2基氣體傳感器在有害氣體及農(nóng)產(chǎn)品初期霉變檢測中的應(yīng)用.pdf
- SnO-,2-基傳統(tǒng)氣敏材料改性及對CO-,2-氣體的氣敏特性研究.pdf
- 新型SnO-,2-微納米結(jié)構(gòu)的制備及生長機制研究.pdf
評論
0/150
提交評論