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文檔簡介
1、氣敏傳感器在環(huán)境保護、工業(yè)、民用等方面有廣泛的應(yīng)用,為了降低氣敏傳感器制作成本(計算機控制激光在基片表面選區(qū)沉積金屬電極,既節(jié)省貴金屬又不用制作價格昂貴的掩模版),提高傳感器氣敏性能,該課題將激光誘導(dǎo)化學(xué)沉積技術(shù)和激光燒結(jié)技術(shù)結(jié)合在一起,主要研究脈沖Nd:YAG激光制備氣敏傳感器電極和燒結(jié)氣敏功能薄膜的實驗工藝及規(guī)律,并分析激光燒結(jié)提高薄膜氣敏性質(zhì)的原因.使用脈沖Nd:YAG激光分解價格便宜的AgNO<,3>、AuCl<,3>、Ni(N
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