基于氣體電離的氣敏傳感器的研究.pdf

1、在工業(yè)高度發(fā)達的今天，氣體污染所帶來的損失已經(jīng)嚴重威脅到人類的生存，解決問題的關(guān)鍵是迅速準(zhǔn)確的檢測到這些有毒、有污染的氣體，這便是氣敏傳感器發(fā)展的客觀依據(jù)。氣敏傳感器，俗稱電子鼻，是目前比較熱門的新型傳感器技術(shù)。氣敏元件傳感器作為新型敏感元件傳感器在國家列為重點支持發(fā)展的情況下，發(fā)展到現(xiàn)在已經(jīng)有了一定的基礎(chǔ)。 本課題研究的是一種基于氣體電離的氣敏傳感器。氣體的電離取決于所施加的電場強度。在相同的外加電壓下，電場強度和兩電極間的距

2、離有關(guān)，距離越小，電場強度就越大。因此若能使電極間的距離縮小到幾個納米，將大大地降低氣體電離所需的外加電壓。在這里，我們用了電鍍的方法來縮小電極之間的間隙，用在線阻抗監(jiān)測的方法來實時監(jiān)控電鍍情況，并將得到的信號用來反饋控制電鍍，合理的控制電鍍的時間，尋求最佳的切斷電鍍電源的時機，研究不同的電解液濃度不同的電鍍時間給電極帶來的間隙和形狀上的影響，找到一種靈活的合理的制造納米間隙電極的方法。 每一種氣體都有自己獨特的擊穿電壓，在本課