基于多孔硅的化學氣敏傳感器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、多孔硅具有與IC工藝相容,比表面積大,微結構可控并能被多種材料修飾的特點,因此基于多孔硅的化學氣體傳感器逐步在引豐收了人們的關注.該文研究了多孔硅以及基于多孔硅的化學氣體傳感器.研究了兩種基于多孔硅的化學氣體傳感器.1、多孔硅作為氣體敏感層的化學氣體傳感器.對丙酮,乙醇,水氣進行了測量,得到了對丙酮有較大響應,對乙醇和水氣響應較小的不同的反應曲線.同進該文研究了縱向電極和橫向電極不同的傳感器的結構,討論了寄生電阻電容對測量結果的影響,并

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