多孔硅基氧化鎢氣敏傳感器的研究.pdf

1、隨著工業(yè)和日常生活向空氣中排放的污染氣體越來(lái)越多，新型高性能低功耗的氣敏傳感器越來(lái)越受到人們的關(guān)注。本文主要針對(duì)多孔硅基氧化鎢氣敏薄膜以及傳感器的電學(xué)特性和氣敏特性進(jìn)行了研究。
　　 首先，通過(guò)雙槽電化學(xué)腐蝕法制備介孔硅基底。選取40，60和80mA/cm2三種腐蝕電流密度，得到不同孔隙結(jié)構(gòu)參數(shù)的介孔硅樣品，對(duì)樣品進(jìn)行了孔隙率、SEM、I-V特性等各種測(cè)試，分析了介孔硅的材料參數(shù)、微觀形貌和電學(xué)特性等。用靜態(tài)配氣法對(duì)一定濃度的N

2、H3、C2H5OH和NO2進(jìn)行了氣敏特性測(cè)試。結(jié)果顯示：腐蝕電流密度為80mA/cm2的介孔硅樣品具有較好的氣敏特性。
　　 隨后，在制備的介孔硅基底上濺射氧化鎢薄膜以及Pt電極，形成介孔硅基氧化鎢薄膜氣敏傳感器。通過(guò)對(duì)氧化鎢薄膜濺射時(shí)間的選取，得到不同膜厚的樣品，對(duì)樣品進(jìn)行了SEM、阻溫特性等各種測(cè)試，分析了介孔硅基氧化鎢薄膜的材料參數(shù)、微觀形貌和電學(xué)特性等。用靜態(tài)配氣法對(duì)一定濃度的NH3和NO2進(jìn)行了氣敏特性測(cè)試。研究表明：