金屬氧化物半導(dǎo)體納米材料NO-,2-傳感器研究.pdf

1、本論文研究了金屬氧化物半導(dǎo)體納米材料NO2氣體傳感器，主要包括四部分的工作：(1)采用溶膠-凝膠法合成了In2O3納米晶，首次研究了SiO2摻雜的In2O3納米晶對(duì)NO2氣體的氣敏特性。所制作的氣體傳感器對(duì)空氣中的NO2有良好的響應(yīng)。材料的合成方法簡(jiǎn)單，通過(guò)摻雜SiO2改善了傳感器對(duì)NO2氣體的氣敏性能，提高了靈敏度，縮短了響應(yīng)時(shí)間。(2)采用分解白鎢酸法制得WO3納米粉體，用固相反應(yīng)法摻雜SiO2，研制了一種SiO2摻雜的wO3半導(dǎo)體

2、NO2氣體傳感器，制作方法簡(jiǎn)便，對(duì)NO2氣體具有良好的響應(yīng)，是一種有實(shí)際應(yīng)用前景的氣體傳感器。這種NO2氣體傳感器的特點(diǎn)是穩(wěn)定性好。(3)金屬氧化物半導(dǎo)體材料的氣敏特性與材料的制備過(guò)程有關(guān)，材料的制備條件，決定了氣敏材料的微觀結(jié)構(gòu)、晶相組成以及元素的電子狀態(tài)，因而影響其氣敏性能。采用不同于分解白鎢酸的方法制備了WO3納米材料半導(dǎo)體。先由Na2WO4溶液通過(guò)離子交換法制備鎢酸，再選擇不同的制備條件，制備了具有不同性能的WO3納米材料。用這

3、些WO3納米材料制作的NO2氣體傳感器其氣敏特性也不相同。實(shí)驗(yàn)表明可通過(guò)控制氣敏材料的制備條件來(lái)改善氣敏材料的氣敏性能。(4)復(fù)合氧化物半導(dǎo)體材料發(fā)展最迅速，是氣敏材料的開(kāi)發(fā)重點(diǎn)。探索了用較為簡(jiǎn)便的方法分別合成WO3、SnO2和TiO2納米粉體，并利用前文所合成的In2O3納米晶，通過(guò)固相反應(yīng)摻雜法，得到了相應(yīng)的WO3基復(fù)合氧化物納米材料。用這些復(fù)合納米材料制作的氣敏器件，增強(qiáng)了對(duì)NO2氣體的氣敏特性。 大氣污染已引起世界各國(guó)的