有毒有害氣體傳感器陣列檢測及數(shù)據(jù)融合研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、有毒有害氣體的成分與含量檢測在化工、航空航天、毒氣報警、環(huán)境保護等領域有著廣泛的應用。常用的半導體氣敏傳感器具有響應速度快、靈敏度高等優(yōu)點，但卻由于交叉敏感的特性而無法應用于多種氣體檢測。然而在實際的應用環(huán)境下，絕大多數(shù)被測氣體的成份都是較為復雜的。因此，研究一種利用現(xiàn)有的半導體傳感器技術而實現(xiàn)混合氣體檢測的測試技術就變的十分必要。
　　本文設計了一種基于 AlN的半導體 MEMS微結構四陣列傳感器，并根據(jù)其輸出特性設計了后端檢測

2、系統(tǒng)。檢測系統(tǒng)由陣列傳感器來獲取對被測混合氣體的感知，并將其高維響應采集處理后傳輸至上位機，而后通過多傳感器數(shù)據(jù)融合技術對高維響應數(shù)據(jù)進行分析、識別，從而計算出混合氣體的成分與含量。
　　系統(tǒng)硬件以 STM32F107微控制器為核心，包括傳感器加熱電路、信號變送電路、量程切換電路、電源電路、采集電路和通信電路，并利用KeilMDK4.0完成了硬件電路底層驅(qū)動程序的編寫。軟件部分應用LabVIEW與 MATLAB混合編程技術，其中

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