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文檔簡(jiǎn)介
1、高頻超聲換能器的核心是壓電材料,其厚度決定著超聲換能器的工作頻率。壓電厚膜憑借厚度優(yōu)勢(shì),且兼?zhèn)渲鴫弘娞沾珊捅∧さ膬?yōu)點(diǎn),成為研制高頻超聲換能器的理想材料。成分在準(zhǔn)同型相界附近的鋯鈦酸鉛(PZT)厚膜表現(xiàn)出優(yōu)良的壓電、鐵電、介電性能,被認(rèn)為是研制高頻超聲換能器的首選。在制備PZT厚膜的眾多方法中,水熱法有著自身的優(yōu)點(diǎn)。因此研究水熱法制備PZT厚膜具有重要的理論價(jià)值和現(xiàn)實(shí)意義。
本研究旨在以硝酸鉛、四氯化鈦和氧氯化鋯為初始原料,以氫
2、氧化鉀為礦化劑,利用水熱法制備具有高度均一性、高純度且成分在準(zhǔn)同型相界(MPB)附近的PZT厚膜。
本文首先簡(jiǎn)單介紹了PZT的相關(guān)知識(shí),水熱法制膜的工藝,以及水熱法制備PZT厚膜的研究現(xiàn)狀。然后從前驅(qū)物溶液濃度,各物質(zhì)化學(xué)計(jì)量比,礦化劑濃度,鈦源的選擇,鈦基板的預(yù)處理這五個(gè)方面研究了影響水熱法制備PZT厚膜的因素,尋找到其最佳合成條件。采用烘箱加熱的方式時(shí),制備的PZT厚膜成分屬于富鋯型,不在準(zhǔn)同型相界附近。為了解決上述問題,
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