絲網印刷法制備熱釋電厚膜.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、鋯鈦酸鉛(PbZrTiO3，簡稱 PZT)材料具有優(yōu)異的鐵電、壓電、熱釋電性能，被廣泛用于制造各種傳感器、換能器與驅動器。為了滿足大功率激光器和靈巧彈藥等對紅外探測器頻率響應高、敏感元面積大的使用要求，本論文開展了PZT厚膜材料和單元紅外探測器的研究。
　　在PZT厚膜材料研究方面：為提高厚膜的印刷質量，對絲網印刷漿料的有機載體配方、粉體載體比例、球磨工序等工藝進行了研究，制備出了具備良好穩(wěn)定性、均勻性與流變特性的厚膜漿料。通過對

2、厚膜形貌、微觀結構、介電與熱釋電性能的分析與測試，優(yōu)化了厚膜的燒結與極化工藝。在最優(yōu)工藝條件下制備的厚膜為單一的鈣鈦礦結構，居里溫度425℃，常溫1kHz下的相對介電常數(shù)與損耗角正切分別為85.46與0.01584，熱釋電系數(shù)為9.14×10-9C/cm2·K。
　　研究了厚膜在燒結過程中的致密化問題，分析了“骨架結構”對厚膜致密度的影響，提出并驗證了一定程度的孔隙率對材料紅外探測性能的提高具有積極作用。
　　在PZT厚膜紅

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