基于碳納米螺旋的微氣泡發(fā)生器的制備及性能研究.pdf

1、碳納米螺旋因其獨特的三維結(jié)構(gòu)和材料性能可用于電熱傳感器、電磁傳感器、微機械彈簧、諧振器、電磁波吸收器以及電磁納米轉(zhuǎn)化器等。本文基于碳納米螺旋研究了一種新型微氣泡發(fā)生器，該微氣泡發(fā)生器具有功耗低、制備工藝簡單和易于集成等優(yōu)點，在氣泡熱噴印、微流體可視化和微驅(qū)動等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　 本文首先對碳納米螺旋微氣泡發(fā)生器的電熱性能進(jìn)行了有限元分析模擬，通過對其電熱性能的靜態(tài)仿真和動態(tài)仿真，得到了碳納米螺旋微氣泡發(fā)生器達(dá)到氣泡

2、成核溫度時的最小輸入電壓、最小輸入功率以及氣泡產(chǎn)生的時間等主要性能參數(shù)，為碳納米螺旋微氣泡發(fā)生器的實驗研究提供了理論參考。接著研究了碳納米螺旋微氣泡發(fā)生器的MEMS制備工藝，利用光刻、磁控濺射和剝離等工藝制備了微氣泡發(fā)生器的電極，通過介電電泳技術(shù)將碳納米螺旋裝配于電極間，并在電極與碳納米螺旋的接觸處覆蓋一層二氧化硅，利用真空退火和電流自加熱退火技術(shù)降低碳納米螺旋與電極的接觸電阻從而優(yōu)化微氣泡發(fā)生器。對研制的碳納米螺旋微氣泡發(fā)生器在大氣環(huán)