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1、近年來(lái)，微納流控通道相關(guān)的基礎(chǔ)和技術(shù)研究成為引人注目的前沿領(lǐng)域，微納流控通道中流體和分子傳輸具有特異性質(zhì)，相關(guān)研究突破了傳統(tǒng)理論的一些重要概念。熱鍵合技術(shù)是實(shí)現(xiàn)聚合物微納流控通道密封的關(guān)鍵技術(shù)，熱鍵合過(guò)程機(jī)理的研究對(duì)成功制作微納流控通道并精確控制其尺寸具有重要意義。
本文首先利用聚合物SU一8膠作為材料，采用PDMS制作的印章通過(guò)軟壓印的方法制作了微納米通道。在對(duì)微納米通道進(jìn)行熱鍵合過(guò)程中，分別改變鍵合膠層厚度，鍵合溫度，
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