LTCC集總參數(shù)濾波器的設(shè)計與關(guān)鍵工藝分析.pdf

1、低溫共燒陶瓷(low temprature co_fired ceramic,LTCC)技術(shù)是一種立體、多層的布線技術(shù)，可靈活設(shè)計電感、電容元件，減小元件空間，已成為無線通訊系統(tǒng)與現(xiàn)代裝備技術(shù)中更具影響力與競爭力的技術(shù)之一。LTCC LC濾波器相對于傳統(tǒng)的集總參數(shù)濾波器，不但可集成在多芯片組件基板內(nèi)，而且能制作成0805、0603等表面貼裝(SMD)形式，能在很大程度上提高電子系統(tǒng)的集成度、可靠性等。
　　本文是在了解現(xiàn)有工藝平臺

2、的基礎(chǔ)上，利用集總參數(shù)元件進(jìn)行濾波器的設(shè)計。首先采用網(wǎng)絡(luò)綜合法綜合出等效電路模型，使用Ansoft Designer與ADS軟件對等效電路模型進(jìn)行了仿真，采用三維電磁場仿真軟件HFSS建立了電容電感的三維模型，并提取出其有效元件值。對濾波器中幾種常用的電容電感元件的物理模型進(jìn)行了掃描分析，給出了某些敏感尺寸對元件有效值、Q值的影響趨勢?；趯蝹€分立元件研究的基礎(chǔ)，在HFSS中進(jìn)行了濾波器的整體布局，完成了濾波器物理模型的建立，并對其進(jìn)

3、行了仿真，仿真結(jié)果滿足技術(shù)指標(biāo)要求。
　　本文對LTCC技術(shù)中的某些關(guān)鍵工藝進(jìn)行了分析，對影響濾波器性能的部分敏感參數(shù)進(jìn)行了探討，并將這些敏感參數(shù)反饋到設(shè)計中去，優(yōu)化濾波器的設(shè)計。
　　經(jīng)低溫共燒陶瓷(LTCC)工藝線制作出了兩款截止頻率分別為195MHz和260MHz的LTCC九階LC低通濾波器和兩款中心頻率分別為1050MHz、1950MHz，通帶寬度為500MHz和900MHz的LTCC五階LC帶通濾波器。成品經(jīng)矢量網(wǎng)