已閱讀1頁，還剩64頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、 本文以串/并聯(lián)接觸式RFMEMS開關(guān)為重點進行了研究，提出了版圖設(shè)計工具與有限元仿真工具相結(jié)合的方法，使用有限元軟件ANSYS對四類典型的MEMS開關(guān)(串聯(lián)橋式、并聯(lián)橋式、串聯(lián)懸臂梁式、并聯(lián)懸臂梁式)進行力學(xué)性能的對比分析。模擬了不同橋長的諧振頻率以及三種不同橋墩形狀的橋式開關(guān)的下拉情況，找出彈性系數(shù)最小的開關(guān)。使用高頻電磁場分析軟件HFSS對四類開關(guān)進行1-10GHz的微波性能的對比分析，設(shè)計了用表面微機械加工技術(shù)來制作開關(guān)的詳細
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 射頻-微波MEMS接觸式開關(guān)的研究.pdf
- 并聯(lián)接觸式射頻MEMS開關(guān)的研究.pdf
- MEMS輕型通信設(shè)備的射頻開關(guān)研究與應(yīng)用.pdf
- 接觸式RF MEMS開關(guān)接觸可靠性的研究與分析.pdf
- RF MEMS開關(guān)的設(shè)計與制作.pdf
- 面向OXC的MEMS光開關(guān)設(shè)計與分析技術(shù)研究.pdf
- 基于MEMS的微機械射頻開關(guān)的研究和設(shè)計.pdf
- 非接觸式射頻IC卡技術(shù)應(yīng)用與研究.pdf
- 射頻MEMS單刀雙擲膜開關(guān)的研究.pdf
- 非接觸式電能傳輸技術(shù)研究與設(shè)計.pdf
- 電容式RF MEMS開關(guān)設(shè)計與失效研究.pdf
- 電容式RF MEMS開關(guān)設(shè)計與性能研究.pdf
- 非硅MEMS慣性開關(guān)接觸增強設(shè)計及其工藝研究.pdf
- 光通信MEMS光開關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf
- 集成式MEMS-FAIMS芯片設(shè)計與工藝技術(shù)研究.pdf
- 4位開關(guān)線式MEMS移相器設(shè)計.pdf
- 基于擴頻通信的射頻識別技術(shù)研究與實現(xiàn).pdf
- RF MEMS開關(guān)封裝技術(shù)的研究.pdf
- 多模移動終端射頻前端中RF MEMS開關(guān)的研究.pdf
- 梳齒式MEMS光開關(guān)的分析與改進.pdf
評論
0/150
提交評論