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1、該文對懸臂梁式的微開關(guān)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)、分析和討論,計(jì)算了懸臂梁在電場力作用下的變形和受力特性,給出了一種懸臂梁式機(jī)構(gòu)微開關(guān)的微機(jī)械工藝,并對驅(qū)動(dòng)微開關(guān)的高壓升壓電路進(jìn)行了分析和設(shè)計(jì).全文共分四章:第一章系統(tǒng)綜述.敘述了MEMS系統(tǒng)及其發(fā)展,介紹了常見微開關(guān)的幾種結(jié)構(gòu),提出了課題的內(nèi)容和主要任務(wù).第二章詳細(xì)計(jì)算了等截面懸臂梁微開關(guān)和變截面懸臂梁微開關(guān)的懸臂梁在電場力作用下的變形、觸點(diǎn)間接觸壓力、梁上內(nèi)應(yīng)力的分布以及兩種懸臂梁的無阻尼橫向自
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