已閱讀1頁，還剩69頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、近年來，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)研究得到了迅猛的發(fā)展，用于射頻通信領(lǐng)域中的MEMS技術(shù)，即RF-MEMS(RadioFrequencyMicro-electro-mechanicalSystem)技術(shù)蘊藏著巨大的市場潛力，已經(jīng)成為研究的熱點，受到學(xué)術(shù)界和政府部門的高度重視。采用微機(jī)械技術(shù)研制的RF-MEMS微機(jī)械濾波器是RF-MEMS系統(tǒng)的關(guān)鍵器件之一，它不但具有體積小、重量輕、性能穩(wěn)定等優(yōu)點外，還能和其他電路元件集成在一起。 本
2、文在分析了國內(nèi)外RF-MEMS濾波器研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，根據(jù)微機(jī)械濾波器的工作原理，提出器件的力學(xué)分析模型，設(shè)計一種頻率為70MHz的微機(jī)械濾波器。本文通過分析歐拉-貝努立方程，得出濾波器的共振頻率主要由諧振梁的密度、厚度和長度決定，考慮切變形和轉(zhuǎn)動慣量的情況下，完成微機(jī)械諧振梁、支撐梁、驅(qū)動電容的設(shè)計；在CoventorWare軟件上進(jìn)行仿真，分析結(jié)果與理論設(shè)計比較好地吻合；對微機(jī)械濾波器的加工工藝進(jìn)行設(shè)計，給出器件的完整的工藝流程，重
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于MEMS的濾波器研究.pdf
- 基于MEMS技術(shù)的濾波器設(shè)計.pdf
- MEMS帶通濾波器的設(shè)計研究.pdf
- 基于MEMS工藝的太赫茲濾波器的研究.pdf
- 通信領(lǐng)域的微機(jī)械諧振器和濾波器研究.pdf
- 硅基MEMS濾波器的特性研究.pdf
- 基于SIW技術(shù)的MEMS可重構(gòu)濾波器的研究.pdf
- 基于MEMS微屏蔽線的濾波器研究.pdf
- 基于MEMS技術(shù)的角度可調(diào)諧光濾波器研究.pdf
- 基于共面波導(dǎo)的RF MEMS可調(diào)帶阻濾波器研究.pdf
- 基于RF-MEMS技術(shù)的X波段可調(diào)濾波器.pdf
- 毫米波LIGA MEMS帶通濾波器的研究.pdf
- X波段RF-MEMS電調(diào)濾波器的研究.pdf
- 基于MEMS技術(shù)的Fabry-Perot腔可調(diào)光學(xué)濾波器研究.pdf
- 微機(jī)械毫米波濾波器、天線及返波振蕩器設(shè)計.pdf
- 基于MEMS技術(shù)的開關(guān)和電磁帶隙可調(diào)濾波器設(shè)計.pdf
- 基于自適應(yīng)濾波器的MEMS加速傳感器檢測電路的制作.pdf
- 微機(jī)械諧振器-濾波器通帶特性分析及結(jié)構(gòu)魯棒設(shè)計.pdf
- 機(jī)械可調(diào)諧腔體濾波器的研究.pdf
- 硅基MEMS微波帶通濾波器的設(shè)計及制備.pdf
評論
0/150
提交評論